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3 晶圓傳送盒（FOUP） Stage 設(shè)備前端模塊（EFEM）加載互鎖真空室(LOAD LOCK Chamber, 除氣或者冷卻)2 轉(zhuǎn)移室（Transfer Chambers）2 Slot Pass-Thru Stage除氣室或者冷卻室...

* 考慮到CVD/ETCH各Part，具備多樣化和  優(yōu)化的陽極氧化條件的特性。 ? 5個（X2）陽極氧化bath（藥物差異） ? >擁有10個Recipe ? 擁有經(jīng)過驗證的量產(chǎn)前/后處理技術(shù)...

* 電極/Shower plate/Liner對應(yīng)可能   ? 構(gòu)建獲得驗證的設(shè)備  ? 擁有獲得驗證的Coating條件  ? 不僅擁有ECCP，也擁有可以對應(yīng)ICP 部件的Coating條件&nb...

*擁有精密清洗技術(shù)擁有多樣的藥物清洗條件擁有高壓清洗及自動干燥設(shè)備擁有潔凈室及潔凈室內(nèi)Clean oven金屬及Ceramic清洗都可使用現(xiàn)有PVD零件清洗Infra* 擁有平面研磨及拋光技術(shù)擁有2臺獲得驗證的自動研磨機確保研磨專家/熟練者...