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3 晶圓傳送盒（FOUP） Stage 設(shè)備前端模塊（EFEM）

加載互鎖真空室(LOAD LOCK Chamber, 除氣或者冷卻)

2 轉(zhuǎn)移室（Transfer Chambers）

2 Slot Pass-Thru Stage

除氣室或者冷卻室1，2 (DEGAS OR COOL Chamber 1,2)

2 預(yù)先清理室 (Pre-Clean Chambers)

CH #1 : 濺射室(Deposition Chamber)

CH #2 : 濺射室(Deposition Chamber)

CH #3 : 濺射室(Deposition Chamber)

CH #4 : 濺射室(Deposition Chamber)

4 Slot PEC Station3 BROOKS FOUPS EFEM System

1 設(shè)備前端模塊的BROOKS ATR8 機(jī)器人

2 轉(zhuǎn)移室的BROOKS MAG7 機(jī)器人

6 CTI OB-IS 低溫泵 (CYRO Pumps)

2 CTI 氦氣壓氣機(jī) (Helium Compressors)

2~5 PFEIFFER 分子泵(Turbo Pumps)

5 干泵(DRY Pumps)